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光学镀膜-英福康膜厚仪-XTC/3

类别:行业新闻   发布时间:2019-09-28 18:08   浏览:

实用的单层和多层镀膜速率控制

用于单层和多层镀膜工艺的薄膜镀层控制仪XTC/3装备有ModelLock1专利技术,提供可靠的模式跳跃防止功能,可达到始终如一的镀膜质量。使用XTC/3 薄膜镀层控制仪,可高度精确地控制镀膜速率与膜层厚度,具有能控制几乎任何膜层数量的能力。容易安装和极高的可靠性,可确保高的生产率

■有单膜层和多膜层型号

■ModelLock专利技术防止由于模式跳跃导致的膜厚误差

■支持INFICON Crystal 12TM,CrystalSix®和双探头自动晶体切换,用于最高生产率

■XTC/3M多膜层型号支持多至99个工艺过程,999个膜层,32个镀层,2个

传感器和两个源

■XTC/3S单膜层型号支持多至9个镀层,2个传感器和两个源

■易阅读的TFT LCD图形显示器

为便于检索,可指定独特的和描述性的薄膜与过程名称

■有以太网连接软件

■单独运行(无需计算机)或用PC运行的Windows®软件选件

■INFICON XTC/2控制仪的即插即用更换见(限于XTC/2功能和指令组)